產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)
TS-SY05
控制系統(tǒng)
PLC+觸摸屏
供電電源
AC220V（±10V）
工作電流
整機(jī)工作電流不大于 1.2A（不含真空泵電流）
等離子源功率
300W（60%-100%連續(xù)可調(diào)）
等離子源頻率
13.56MHz
頻率偏移量
小于 0.2KHz
氣體流量計(jì)
0-500ml/min(2路氣體可調(diào))
氣體流量控制
精密針閥式浮子流量計(jì)（2路）
過程控制
自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間
1-9999s 可調(diào)
真空度
＜80Pa
內(nèi)腔尺寸（圓形）
φ160（直徑）*210（深度）mm
腔體材質(zhì)
石英玻璃
產(chǎn)品特點(diǎn)：
清洗時(shí)長可在觸摸屏設(shè)置，等離子處理時(shí)間精確到秒（s）
內(nèi)置兩路氣路，氣體流量可調(diào)，無需再搭配氣體混合儀
專利軟件、觸摸屏控制，操作簡易，智能化設(shè)計(jì)，避免誤操作
實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化情況， 電流、電壓實(shí)時(shí)監(jiān)測，確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行
石英材質(zhì)真空腔體不與等離子體產(chǎn)生反應(yīng)，不會(huì)污染樣品
配備的真空泵噪音和油氣污染小，真空度高
全程干燥的處理方式，不消耗水資源、無需添加化學(xué)藥劑、不產(chǎn)生污染
常見應(yīng)用：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì)，增加石墨烯表面親水基團(tuán)（-OH）提高親水性
金屬工件油污等離子清洗，不損傷樣品，去除表面油污
PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力
ITO導(dǎo)電玻璃親水性處理并提高其功函數(shù)
硅片親水性處理，改性、活化表面
